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        努美科技
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        主動隔振平臺系統

        名稱: 主動隔振平臺系統

        型號: STACIS III

        品牌: TMC

        • 詳細信息

        主動隔振平臺概述

        STACIS® III是一種靈活的**主動隔振系統。STACIS采用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和**先進的壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。

         

        STACIS**初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備,現已成為嘈雜環境(包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究中心)中**敏感儀器的行業標準解決方案。

         

        STACIS III主動隔振平臺系統包括一個全新的改進型數字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網以及USB串行端口,為用戶提供了現代化且易于使用的圖形用戶界面(GUI)。STACIS在全球已擁有數百個成功的安裝案例,是理想的隔振系統,適用于對振動**為敏感的儀器。

         

         

        主動隔振平臺系統STACIS III的優勢

        STACIS比空氣隔振器硬數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在**狀態下運行。

         

        獨特的串行設計和專有的高力壓電技術,可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的**主動隔振性能。

         

        主動隔振平臺系統STACIS III特征

        ? **新改進型DC-2020數字控制器,提供易于使用的圖形用戶界面

        ? 隔振開始于0.6赫茲,1Hz時達到40%至70%的隔離率

        ? 頻率2赫茲和更高時,垂直和水平隔振率大于90%

        ? 降低基礎設施的要求和建設成本,即使有較大外界震動設備也可正常運行

        ? 有效隔振范圍,0.6Hz到150Hz

        ? 獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定

        ? 6向自由度硬安裝設計,無需空氣懸架

        ? 強大的控制系統無需定期重新校準

        ? point-of-use設計方案,與客戶現有隔振系統無縫兼容

        ? 隨著外部環境改變,系統自動調節以適應不同外部震動情形

        ? TMC的STACIS®技術使用壓電執行器主動消振

        ? 數字控制器與基于PC的圖形用戶界面(GUI)

        ? 提高客戶產品產量、質量、成品率。

        ? 符合RoHS標準

        ? **寬的主動隔振帶寬,**的低頻隔振效果

        ? 亞赫茲的主動震動消除,**主要在0.6-6Hz頻段內的隔振

        ? 可堆疊式設計

        ? 主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連

        ? 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振,需要的調諧非常少,甚至無需調諧

        ? 由于阻抗不匹配,可兼容儀器內部隔離器

        ? 負載可達2000kg

        ? 市場上**的主動隔振系統

         

        主動隔振平臺性能

        使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動來測試4500磅(2045千克)有效載荷

         

        主動隔振平臺規格

        性能規格

        主動自由度 6
        主動帶寬 0.6 Hz - 150 Hz
        被動固有頻率 18 Hz垂直和水平
        有效的主動共振頻率 0.5 Hz
        1 Hz時的隔振 40% - 70%
        ≥2 Hz時的隔振 ≥90%
        10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間(減少10:1) 0.3秒
        內部噪音 <0.1 nm RMSd>
        每個隔振器的工作負載范圍 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
        中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
        高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
        剛度(1000磅 / 454千克質量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
        從距離隔振器**4英寸(102毫米)處發射的磁場 <0.02 μG broadband RMSd>

        隔振器設計、尺寸、環境和效用要求
        環境和安全 符合CE和RoHS標準
        主動隔振元件 **小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷
        被動隔振元件 單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)
        振動傳感器元件 向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓
        主動反饋控制回路 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動
        隔振器尺寸(寬 x 深 x 高) 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm
        隔振器重量 75磅(34千克)
        工作溫度 50° - 90°F
        10° - 32°C
        儲存溫度 -40° - 130°F
        -40° - 55°C
        濕度 30 - 60%
        系統電源要求 100、120、230、240 VAC
        50/60 Hz AC; <600 W
        符合CE標準
        地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
        每個系統的隔振器數量 至少3個
        可選附件 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩

        DC-2020控制器規格
        尺寸(寬 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
        483 x 216 x 45 mm
        重量 6.3磅(2.9千克)
        處理器 150/75 MHz雙核
        采樣率 10 kHz
        模擬輸出 16個通道
        模擬輸入 16個通道
        狀態燈 單個LED
        前面板端口 1個串行USB 2.0
        1個串行Micro-USB
        1個以太網RJ-45
        2個BNC
        后面板端口 1個串行USB 2.0
        1個以太網RJ-45
        1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器
        用戶界面 前面板液晶顯示屏
        超級終端上的字符菜單
        適用于Microsoft Windows的擴展GUI
        嵌入式以太網GUI

        STACIS用戶及應用領域

        1、微電子、半導體

        ? 晶片檢測

        ? 顯微光刻技術

        ? 掩膜校準

        2、科學研究、納米技術

        ? SEM、TEM

        ? STEM、SPM

        3、激光臺

        ? 生命科學、藥物研發

        4、工業應用

        ? 精密加工

         

        為什么要選擇主動系統?

        ? 從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

        ? 提高質量、生產量

        ? 更加細小特色的成像能力

        ? 前沿研究

        ? 比氣動平臺更穩定

        ? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案

        ? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

         

        主動系統為何選擇STACIS

        ? 正中了科研者的的心聲,提供了盡可能**的無震環境。

        ? 市場上**強勁的低頻隔振系統。

        ? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。

        ? STACIS**發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振系統,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

         

        STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

        穩定時間作為對擾動的響應,由于獨特的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

         

        如下優勢在業內都是**的

        ? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

        ? 6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 

        ? 從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 

         

        專業的環境調查

        1、安裝前后的環境調查,包括震動、磁場、聲波

        2、安裝后可提供環境系統體系認證

        ? 完善的環境調查服務

        ? 開具專業環境報告

        ? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

        ? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 

        ? 40多年的行業經驗,業內的**

         

        應用照片






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